Alexandra Graff-Meyer, Laurent Gelman and Rainer Friedrich

EDAX と Gatan のコラボレーションによる最新の製品、EDAX EDS Powered by Gatan をご紹介します。EDAX Elite Tシリコンドリフト検出器とGatan GMS（DigitalMicrograph）ソフトウェアの組み合わせによる、最新のTEM/STEMアプリケーションとなります。

走査透過型電子顕微鏡(STEM)のアプリケーションにおいて、最も直感的で操作が簡単なエネルギー分散型X線分析(EDS)を提供するためにGatanとEDAXが力を合わせました。GMS（DigitalMicrograph）ソフトウェアは様々な像観察や分析手法に対するTEM/STEMの実験のコントロールと解析においてスタンダードとなっていますが、この新しいシステムでは、GMS（DigitalMicrograph）ソフトウェアに、EDAX EDSのデータ取得と信号処理系を統合致しました。

EDAXのElite Tシリコンドリフト型検出器は、検出効率を最大化し軽元素の検出性能を最適化しています。これにより、高感度のEDS Elite Tの信号にGMS（DigitalMicrograph）ソフトウェアの高度な像観察や分析手法を適用する事が可能となります。

This workshop demonstrates how the Monarc^® Pro CL detector can deliver the most comprehensive understanding of nanophotonic devices with a live demonstration showing the characterization of plasmonic and photonic crystal samples.

EAG Laboratoriesでは, 産業界、国立研究所、政府機関の研究者のために様々な種類のナノ材料の解析を行っています。シリコンデバイスの場合、深刻な材料の問題のほぼ全てが界面で発生しています。STEM-EELSによるハイパースペクトラムマッピングは、材料の構造や化学的な状態を原子レベルで研究する際に非常に強力な手法です。産業界では、この手法を材料のキャラクタリゼーションや故障解析に広く利用しています。最新の高性能のTEMと組み合わせることで、ナノアンペアのビーム電流とサブオングストロームのSTEMビームを得ることが実現されましたが、同時に半導体や誘電材料に対して容易にダメージを与えてしまいます。それ故、短いピクセルタイムと高速読み出しを実現する高速EELS分光器が求められています。最新のGIF Continuumの登場によって、ナノデバイスの解析における空間分解能は大幅に向上しました。本講演では、最新の解析例として3D-NANDデバイスのSTEM-EELS解析についてご紹介します。

現在猛威を振るっているSARS-CoV-2パンデミックを抑えるには、安全で効果的かつスケーラブルなワクチンと治療法が求められています。

Spectroscopic mapping by STEM-EELS is a powerful technique for determining the structure and chemistry of a wide range of biological, natural, and engineered materials and interfaces down to atomic resolution. The continual push for more robust, sensitive, and localized characterization is enabled by significant and ongoing improvements to hardware throughout the STEM-EELS instrument.

電子線後方散乱回折法 (EBSD) はSEMにおける材料解析において必須の手法です。EBSDは結晶粒径、集合組織、結晶方位といったエネルギー分散型X線分析では得ることが出来ない情報が取得可能であり、第二相の識別や主相に対する第二相の方位関係が判ります。

EBSDに関して重要な点は、試料表面近傍からの信号を利用していることです。それゆえ、その試料作製は難しいとされてきました。最も一般的な試料作製法である機械研磨では工程が複雑になりがちで、またソフトマテリアルや多孔質材料、大きく異なる相からなる多相材料などに対しては研磨が困難であり、良好な結果を得るためには試料作製に対する豊富な経験が必要とされます。

ブロードアルゴンビームツールはこれらの試料作製の複雑さから解放します。本ウェビナーでは、GatanのPECS IIとEBSDにおけるアドバンテージをEDAXとの共同発表でご紹介します。Gatanのブロードアルゴンビームツールによって、機械研磨による試料作製では不可能であったEBSD測定が実現されます。