試料表面のダメージを最小化しシリコンの試料状態を維持

Solarus IIによるプラズマクリーニング後においても、試料表面への非晶質化ダメージを最小化し試料の正しい状態を維持。クリーニングプロトコル：水素＋酸素；処理時間：5分；試料：Si<110>；使用装置：TF20