PECS IIシステム

SEMのイメージングおよび分析技術のための試料の研磨およびコーティング用に設計されたブロードアルゴンイオンビームシステム。

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メリット: 

SEM試料の前処理として最適に完全自動化されたアルゴンイオンビームミリングシステムです。ダメージの少ない加工表面、加工断面、コーティング(保護膜または帯電除去用)が出来ます。

  • 1回のポンプダウンで試料を加工およびコーティングが可能
  • 100 Vの低加速電圧での加工による、高速でダメージのない試料表面処理 
  • 最大直径32 mmの試料を使用可能
  • 大気非暴露試料搬送に対応:PECS™ IIからSEM/FIBまたはグローブボックスに試料を移動可能(オプション)
  • GatanのDigitalMicrograph®ソフトウェアでのデジタル光学画像の取得および自動保存
  • 10インチの統合カラータッチスクリーンを使用して、すべてのPECS IIパラメータを表示および制御

パブリケーション

Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences
2021

Zhou, T.; Babu, R. P.; Hou, Z.; Hedström, P.

Journal of Magnesium and Alloys
2021

Liu, X. Q.; Qiao, X. G.; Pei, R. S.; Chi, Y. Q.; Yuan, L.; Zheng, M. Y.

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