Gatan eaSIテクノロジーによる、照射電子線を極限まで効率的に利用したEELSスペクトルイメージデータの取得

電子顕微鏡において、コアロスの非弾性散乱の現象は非常に少ないものの、材料中の元素の原子分解能での分布や結合状態、電子状態など有用な材料の情報を明らかにします。走査透過型電子顕微鏡(STEM)では、エネルギー損失分光法(EELS)のスペクトルイメージング(SI)法が原子分解能でこれらの現象を検出するために用いられます。しかしながら、この手法は使用するハードウェアと取得条件によって、その速度と効率が制限されてきました。

本ウェビナーでは、DECTRIS社製センサーを搭載したGatanのStela^®ハイブリットピクセル型カメラとeaSI^™テクノロジーによって、最高9000ピクセル毎秒のSTEM-EELSのSIデータ取得が実現されたことをご紹介します。この速度でリアルタイムにデータを取得、処理することによって、現在行っている実験に対するフィードバックが即座に得られます。GatanのDigitalMicrograph^®ソフトウェアでライブ連続ドリフト補正を行うことで、各フレーム間の遅れ無しに読み出しノイズがほぼゼロのStelaカメラを最も効率的に活用することが可能です。収差補正器を備えていない電子顕微鏡を使用した場合においても、試料へのダメージを最低限に抑え、原子分解能のSTEM-EELSのデータ取得を実現する最適なワークフローをご紹介します。

講演者: Liam Spillane, Analytical Application Scientist, Gatan

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