コマ収差の影響を抑えたイメージシフトモードによる像観察スループットの大幅向上

  • コマ収差の影響を抑えたデータ取得のため、イメージシフトの動作範囲とグリッド孔径を設定することで自動的に撮影部位を見つけ撮影箇所をマーキングします
  • 重複した撮影を心配する必要なく、撮影を行いたい部位をシングルクリックするだけで撮影箇所を追加することが出来ます。