Monarc CL 検出器

最高のデータを高速で取得

• 比類無い空間分解能 (<10 nm)、角度分解能 (1°)、そして波長分解能 (0.1 nm) でCLデータを取得
• 角度分解CLと波長分解CLデータを同時取得
• これまでのCL検出器と比較して、最高30倍の速さでハイパースペクトルデータを収集

• 完全自動化されたアライメントと、レシピによる操作系によって最適な結果が保障されます
• アライメント済みの安定した光学系により、短、長期に渡って再現性のある結果を実現
• データスループットの向上のために、最大の分析視野範囲が利用可能であり、ユーザーのワークフローを簡単にします

他の手法による信号との最も正確な相関付け

• 物理的な特性と組成をCLデータと相関付けるために、複数の信号の同時検出が可能
• 妥協が不要 – CL測定中においてもインレンズSEM用検出器が利用可能

独自の機能

• 角度分解能 (ARCL): 回折限界よりもはるかに小さな角度における、光と物質の間の相互作用に関する知見が得られます - これまでのCL検出器と比較して、400倍の分析視野範囲を達成しており、実質的に分解能の低下もありません (特許出願中)
• 波長と角度分解能 (WARCL): 光と物質の間の相互作用を、複数の観察角度と波長に対して完全な分解能で可視化可能です - これまで不可能、あるいは現実的では無いような測定が、Monarcの独自の光学系によってルーチンの測定となります
• 偏光フィルタリング: 光学ナノアンテナ、ナノキャビティ、フォトニック結晶のような、波長を大きく下回る構造の発光偏光特性を決定可能です