STEMPackスペクトルイメージング

STEMPack™ 3システムは、DigiScan™ 3の次世代のデジタル画像の取得性能を用いて、高度なスペクトルイメージング(SI)のアプリケーションに対応します。STEMPack 3は、DigiScan™ 3が有する高性能、かつフレキシブルな走査機能を利用し、電子エネルギー損失分光法(EELS)を電子ビームのスキャンとリンクさせ、スペクトルイメージングデータセットの取得を実現します。STEMPack 3システムは、Gatan社が提供するすべてのスペクトルイメージングのアプリケーションの基盤となっており、すべての装置(EELS、EDS、電子線回折、CLなど)において統一された操作環境を実現します。

• 試料からの情報を系統的に、かつ偏りなく取得
• ある電子線照射量で得られる試料からの分析情報を最大化
• 詳細なEELSデータは、その微細構造解析に基づく高度なケミカルマッピングに適します
• 主成分分析や多変量統計解析のような強力な手法に最適な、情報量が豊富で偏りのないデータを提供
• 同時に複数の信号*を取得し、独自のコントラストが得られるモードが利用可能