DualEELS: エネルギー損失分光データに対するローロスデータを用いた補正の重要性（日本語版）

本Webinarは、4月28日にDr. Liam Spillaneにより講演させて頂いた同タイトルのWebinarを日本語で実施するものです。

電子は物質と非常に強く相互作用するため、多重散乱はほぼ常に起きると考えられます。エネルギー損失分光法(EELS)におけるコアロスエッジへの多重散乱の影響は、コアロスエッジに続く数eVから数十eVの範囲の信号として観察されます。これはエッジに対する高エネルギー側への一次元のスミアリング、あるいはコンボリューションという形を取っています。結果としてエッジ形状を変えてしまい、エッジの同定が困難になると共に、重なり合うエッジに対する定量計算がほぼ不可能となります。しかしながら、コアロスデータと共にゼロロスピークを含むローロス領域の強度分布を取得していれば、多重散乱の影響を補正することが可能です。

本ウェビナーでは、GatanのDualEELS™ のハードウェアを用い、ローロスデータとコアロスデータを取得する方法についてご説明します。GatanのDualEELSは、100nsで動作するシャッターテクノロジーと超高速ドリフトチューブを活用し、効率的なデータ取得のワークフローを実現します。また、多重散乱の影響を考慮した定量解析においてDigitalMicrograph® がどのようにDualEELSを統合しているのかについてもご紹介します。

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Presenter: 佐伯　哲平, アメテック株式会社　ガタン事業部, 営業課長

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