ブロードアルゴンビームツールによる試料調製とEBSD観察への適用

電子線後方散乱回折法 (EBSD) は電子顕微鏡における材料解析において必須の手法で、結晶方位の情報を取得し、相の識別や主相に対する第二相の方位関係が判ります。このEBSDに関して重要な点は、試料表面近傍からの信号を利用していることです。それゆえ、その試料調製は難しいとされてきました。また、多孔質材料や大きく異なる相からなる多相材料などは機械研磨が困難である場合も多々生じています。ブロードアルゴンビームツールであるPECS IIはこれらの試料調製の複雑さから解放し、さらにコーティング機能を有しています。本ウェビナーでは、PECS IIの試料調製とEBSD観察における利点をご紹介します。