能量过滤成像(EFTEM)

能量过滤透射电子显微术 (EFTEM) 是一系列成像技术，利用能量损失光谱的特性来增强对比度、消除色差效应并在图像中创建独特的对比效果。主要的应用包括：

• 对比增强 – 去除导致背景雾化的非弹性散射电子，从而改善图像和衍射图的对比度
  • 包括零损失滤波、最可能损失成像、对比调节和前碳成像
• 映射 – 通过用非弹性散射电子形成图像来创建纳米级分辨率的元素/化学图
  • 包括 2 窗口和 3 窗口元素映射/跃变比成像和化学成像 – 提供精细的结构成像
• 分析 – 记录和量化电子能量损失谱（和图），从而提供 TEM 样品的化学分析

EFTEM 的基本原则是，用高能量电子束照射极薄的样品。当大部分电子无阻碍地通过样品时，部分电子会与样品相互作用，并导致弹性或非弹性散射。非弹性散射会同时导致能量损失和动量改变，这在内壳层电离的情况下是样品中的元素特征。