用于EBSD制样的宽幅氩离子束工具

电子背散射衍射(EBSD)是扫描电镜材料分析的一项重要技术。EBSD能够提供远超能量弥散X射线谱的样品信息，例如晶粒尺寸、织构、晶粒取向等，而且在许多情况下，可以识别出样品中的第二相，以及它们与基体相的晶体取向关系。

EBSD的一个重要特点是信号来自于样品最表层小于10 nm的区域。因此，样品的制备一直以来都比较困难。机械方法制备是最常见的技术，它可能变得很复杂，难以处理性质非常不同的材料，并且通常有经验的金相专家才能成功制样。

宽幅氩离子束工具几乎消除了上述所有这些复杂性。本次网络研讨会中，我们将介绍Gatan 的 PECS II以及与我们的姊妹公司EDAX合作完成的EBSD结果挑战。在所有的案例中，Gatan的宽束工具的制样都成功实现了EBSD的结果表征，这是以前机械制备无法想象的结果。