采用同步采集EELS和EDS数据并3D重构方法而得到的同构立体数据集

透射电子显微镜长期以来只能被用于获得由三维物体的投影行程的2D的图像。采用样品倾斜的得到样品的3D断层重构信息，但利用断层数据进行成分分析的时候，结果只能是定性而非定量的分析。
Graz Center for Electron Microscopy 以及 the University of Leoben in Austria的研究者采用序列倾角成的STEM断层像以及同步采集的low-loss EELS, core-loss EELS 以及 EDS 能谱分布信号来创建了一个三维成分分布数据集。采用先进的处理技术，他们在三维物体的3D谱图分布研究中更进了一步。3D谱图分布数据可允许研究者以全新的角度来对数据进行后期分析和研究。对AL-5 wt.% Si with 50 ppm Na and 6100 ppm Yb的纳米尺度的化学态重构精度展示了这项技术的高超能力。

这个项目的成功同样也得益于Gatan GIF Quantum（966）能量损失谱仪以及高速STEM Package系统（777.U1/U2/U3）的技术优势。该研究小组还采用了GATAN提供的基于EELS和EDS的数据分析软件原型。这个原型软件功能将在GATAN新发布的GMS3.0中作为一个标准功能。