由于EELS和EDS这两项技术的互补性,因此我们在用TEM进行材料分析的时候,对这两种信号都采集到并进行联合分析是很有帮助的。随着TEM技术和相关探测器技术的快速发展,现在不管是针对大视场中的元素分布还是原子尺度的分析,同时采集EELS-EDS联合信号已经得以实现。
在本次网络研讨会中,我们将探讨在STEM模式下同时采集EELS-EDS信号采集元素分布谱图所需要的仪器设备。我们将以催化剂,电子元器件和复杂的氧化物的应用,来说明低背景噪音的X-射线信号是如何与高信噪比和带化学键信息的能量损失谱的信号互为补充的。