学习电子能量损失谱（EELS）和能谱（EDS）信号的性能互补特性，从而了解为何在做透射电镜材料成分分析的时候，总是非常推荐同时采集这两者的信号进行融合分析。在电子类仪器和探测器显著的技术进展下，现在使我们可以获取EELS-EDS的联合谱图数据，从而既可大尺度下分析材料的成分分布，又可在原子尺度进行材料的成分分析。在本教程中，我们将展示在不同的实验条件下获取的数据，从而展示EELS和EDS技术的互补性，以及各自擅长的应用领域。特别是，本教程将主要集中讨论一些最新一代的3D NAND存储器和目前在市场上销售的FinFET器件的化学组成及成分分析。