GIF Continuumシステムを中心に複数の信号を用いたSTEMスペクトラムイメージング測定の手順について、３つのパートに分けたチュートリアル形式で解説します。パート3では4D STEMとEDSのスペクトラムイメージのためのセットアップとデータ取得についてご説明します。